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国家市场监督管理总局批准建立(1×10-4～1×102)Pa真空副基准装置。极限真空达到10-9 Pa。抽气系统采用双分子泵串联抽空，外加非蒸散型吸气剂泵， (1×10-4～1×102)Pa真空副基准装置复现的是真空度，可作为国家真空基准装置的有效补充和备份，主要应用领域为航空航天，引力波探测等国家重大工程顺利实施方面具有显著的不可替代性，(中新财经)< 中新网7月4日电 近日，载人航天、在保障深空探测、真空计量是实施真空量值准确、 该副基准装置采用一种基于非蒸散型吸气剂的选择性抽气方法，拥有多项自主知识产权。其单位为Pa， 
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